制氮机的发展大体上经历了一个催化燃烧一碳分子筛吸附一纤维膜分离的发展过程，其兴起相对较短，但是发展势头很大。加上对能源这一行业的大力重视。

70年代以前国内外气调设施的制氮机多选用催化燃烧式机型。我国早由山西煤炭化学研究所研制成功，它的基本原理是以铂为催化剂燃烧丙烷，不断引入空气以消耗O2，得到比较纯净的N2，送入气调库中用以降O2该机燃烧温度高达500℃，所获得的N2须经冰水降温后方可送入气调库，需要消耗大量水和燃料，操作也不太方便，目前已很少使用。

70年代末开发的焦炭分子筛制氮机。它的基本原理是用表面积极大的焦炭分子筛将O2吸附并排出高浓度的N2。后来经过发展进行园艺产品气调保鲜试验，以后很快推广到全国各地。通过引进、吸收、消化、改进，使该机更加完善，在保鲜界得到广泛认可和应用。研究结果证明，碳分子筛制氮机确比燃烧式制氮机有许多优点，它无需燃烧和降温处理，操作也相对简单。但其机体庞大和需要更换碳分子筛等则是它的先天不足。

80年代，随着科学技术的发展和工业加工水平的提高，又出现了新一代制氮设备，即膜分离制氮机。这种制氮机的心脏是一组极细的中空膜纤维组件。将洁净的压缩空气通过膜纤维组件将O2和N2分开，所产N2比催化燃烧式更纯净，其机械结构比碳分子筛制氮机更加简单，也更易于自动控制和操作，在价格上仍稍高于碳分子筛制氮机。这是迄今为止被认为是制氮设备中的一种机型。

目前市场上普遍用的是PSA空分制氮机，也就是变压吸附式制氮机，变压吸附制氮流程简朴，设备数量少，主要设备仅有空压机、空气干燥器、吸附制氮机和储气罐等。